Год: 2012

Издание: Журнал технической физики, RSCI

Тип публикации: Статьи в журналах

Название издания: Журнал технической физики

Страна, город, издательство: Россия. Санкт-Петербург: Наука / Москва, МАИК Наука/Интерпериодика

Выходные данные: 2012. Т.82. №5

ISSN / ISBN: 0044-4642

Библиографическое описание: Иванченко М.В., Гриценко В.А., Непомнящий А.В., Саранин А.А. Усиление электронно-стимулированной десорбции от аморфных пленок оксида алюминия на кремнии при повышении температуры подложки. Журнал технической физики. Россия. Санкт-Петербург: Наука / Москва, МАИК Наука/Интерпериодика. 2012. Т.82. №5. С.115-119. 0044-4642.