Усиление электронно-стимулированной десорбции от аморфных пленок оксида алюминия на кремнии при повышении температуры подложки


2012

Иванченко М. В., Непомнящий А. В., Саранин А. А., Гриценко В.А.

Журнал технической физики, RSCI

Иванченко М.В., Гриценко В.А., Непомнящий А.В., Саранин А.А. Усиление электронно-стимулированной десорбции от аморфных пленок оксида алюминия на кремнии при повышении температуры подложки. Журнал технической физики. Россия. Санкт-Петербург: Наука / Москва, МАИК Наука/Интерпериодика. 2012. Т.82. №5. С.115-119. 0044-4642.

Россия. Санкт-Петербург: Наука / Москва, МАИК Наука/Интерпериодика

Статьи в журналах

2012. Т.82. №5

0044-4642

Журнал технической физики