Усиление электронно-стимулированной десорбции от аморфных пленок оксида алюминия на кремнии при повышении температуры подложки


2012

Иванченко М. В., Непомнящий А. В., Саранин А. А., Гриценко В.А.

Статьи в журналах

Журнал технической физики

Россия. Санкт-Петербург: Наука / Москва, МАИК Наука/Интерпериодика

2012. Т.82. №5

С.115-119

0044-4642

Иванченко М.В., Гриценко В.А., Непомнящий А.В., Саранин А.А. Усиление электронно-стимулированной десорбции от аморфных пленок оксида алюминия на кремнии при повышении температуры подложки. Журнал технической физики. Россия. Санкт-Петербург: Наука / Москва, МАИК Наука/Интерпериодика. 2012. Т.82. №5. С.115-119. 0044-4642.